影响光栅尺测量精度的因素：

A：光学部分  B：机械部分  C：电气部分  D：使用中的安装与传输接收部分，使用后的精度下降，机械部分自身的偏差。

A、光学部分对精度的影响：

光栅玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻线数、刻线精度、刻线宽度一致性等。

光发射源—光的平行与一致性、光衰减。

光接收单元—读取误差、读取响应。

光学系统使用后的影响—污染，衰减。

B、机械部分对精度的影响：

安装精度。轴承的精度与结构精度。光学组建安装的精度。

例如，就轴承的结构而言，单轴承支撑结构的轴承偏差无法消除，而且经使用后偏差会更大，而双轴承结构或多支承结构，可有效降低单个轴承的偏差。

C、电气部分对精度的影响：

电源的稳定精度—对光发射源与接收单元的影响。

读取响应与电气处理电路带来的误差；

电气噪音影响，取决于光栅尺电气系统的抗干扰能力；

例如，如果电子细分，也会带来的误差，按照德国海德汉提供的介绍，海德

汉光栅尺的细分电气误差与正余弦曲线误差会有一个很小的差异。

D、光栅尺使用中带来的精度影响：

输出电缆的抗干扰与信号延迟（较长距离或较快频率下）；

接收设备的响应与接收设备内部处理可能的误差。

 光栅尺高速位移时的动态响应偏差。

最常见的就是我们自己使用安装的方法与安装结果带来的偏差。

综上所述，光栅尺的分辨率和精度其实是两个完全不同的概念，但是二者有关联，高分辨率可以得到高的测量精度，但不是高分辨率一定能得到高的测量精度。在同等条件下，理论上高分辨率光栅位移传感器一定可以得到高的测量精度。