传感器检测技术的发展：检测技术虽然已经得到广泛的应蝴．但随着科学技术的发展，村它提出F愈来愈高的要求。目前．除个断提高精度、扩展功能、扩大应用他阁外．总的传感器趋势是一体化、小型化、智能化和网络化：具体地说可以有以下几个方面。

1．提高系统性能，扩大应用范围

随着生产和科学技东的发展．对检测系统丛仪器性能的要求愈来愈高，需要研制能枪测牛产和工艺过程中极端参数的检测系统和仪器。例如*纳米量级的长度和位移测量、液态各届温度的连续测量、固体物质左面向观测量、极低温度测量(超导)、混糊流量测量、脉动流量测量、微朵压测设、汁广着测量、尚精度质昆际重、大吨仪洲员越南比大电流测最等 因此要求检测系统及仪器在原食的基础亡不断提高技术性能指标，4J“大应用范围。

检测系统坟仪器的可靠队对艾质送来说巴成为一个重要的指标 仪器仪长可靠性的研灾包括仪器仪友可靠件和故障伞的数学模型利计算方法的研究，传感器仪器仪表可靠性设计、预测．检测和分析试验研究；仪器仪表组件可靠什对整机件能的影响和确定整机可靠性的方法研先等。

2．仪器仪表的一体化和小型化

鉴于传感器与测量电路的分开，有时批会受到电磁干扰信号的影响，而且使用也不方便，所以希望把传感器和测员电路结合企传感器检测系统的组成远 近年来研制成功的—‘种物性副枪测传感器，就足在导体技术的基础上，进—步实现树树、揣件、电路、系统一体化的新型仪表 它利用某些团件材料的物件(机械特性、电特性、曲特性、光特性、化学恃H；等)变化。艾现信息的亢校变换 也就足说。

利用不同材料的物理、化学、生物效应做成器件。自接测鼓被测量的信息，而且把fb路也做在起。这样，它与——般传感25相比。商构造简巾林积小、质量轻、元可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性钉、dr靠性高留特点．能解决许多原先难于实现的参数测量、成分测虽和非接触测量等问题。

光机电一体化仪器仪友的研制是一体化仪器仪表发展的一个重要标志。在捡测过程中、把传感器置于被测对象1：，相当于加一负载在上面*这样或多或少会影响测量精度，而H仑些被测对象和检测环境中根本不可能安装传感器 例如高速问转轴的振动、转矩测量。人体dj液测量等，冈此基于光学测量原39的非接触式测量设备、光机电一体化传感器和检测系统应运而生。